New Functional Mask(NFM)

Phase shift Mask(=PSM)

Intensity Shift Mask(=ISM)

High Resolution용 Mask

FPD의 제품의 고 정밀화에 따른 고 해상도 노광기 용의 특수 Mask로 CD(Critical Dimension)의 균일성과 좌표의 정확도, 미세 결함과 이물이 없는 고 정밀 Mask