PHOTO MASK 소개

현재, 사용되고 있는 많은 Electronics제품에는 LSI( Large Scale Integration), Memory, CCD( Charge Coupled Device), LCD( Liquid Crystal Display)등의 정밀한 전자 부품이 들어가고 있습니다.

Photo-Mask는 이러한 전자부품의 패턴의 원판에 해당하는 것으로,Photo-Mask에 새겨진 정밀 패턴이 Photo Lithography기술에 의해 웨이퍼나 대형 Panel이라고 하는 얇은 판에 전사되어,LSI ,Memory, CCD, LCD가 됩니다.

Photo-Mask를 사진에 비교하면, 현상이 끝난 Nega필름과 같습니다. 사진이 Nega 필름을 투과한 빛을 인화지에 노출시켜 프린트하는 것과 같이, 반도체나 LCD공정에서는 노광장치를 사용하여,반도체의 웨이퍼 혹은 액정 기판에 Photo-Mask에 그려진 회로 패턴을 전사합니다.
특히LCD에 사용되고 있는 Photo-Mask는 LSI나 CCD용의 Mask에 비교하여 큰 사이즈이기 때문에,대형 Photo-Mask라고 불리고 있습니다.